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Selección de un sistema de barrido que permita dopar un sustrato con implantación iónica, de manera uniforme /
por
Arévalo, Horacio M.
Publicado 1974.
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Arévalo, Horacio M.
Salvatelli, E. 1937-2009
Universidad Nacional de Cuyo. Instituto de Física "Dr. José A. Balseiro"
