Ion Implantation in semiconductors, 1976 /
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| Autor principal: | |
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| Autor Corporativo: | |
| Otros Autores: | , , |
| Formato: | Libro |
| Lenguaje: | Inglés |
| Publicado: |
New York :
Plenum Press,
c1977.
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| Materias: |
| Notas: | Incluye índice. |
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| Descripción Física: | xiv, 754 p. : il. ; 26 cm. |
| Bibliografía: | Incluye referencias bibliográficas. |
| ISBN: | 0306362562 |
