Photon, beam and plasma assisted processing : proceedings of symposium B on photon, beam and plasma assisted processing fundamentals and device technology of the 1988 E-MRS Spring Conference, Strasbourg, France, 31 may - 2 june 1988 /
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Formato: | Sin ejemplares |
Lenguaje: | |
Publicado: |
Amsterdam :
North Holland,
1989.
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Colección: | Applied Surface Science 1989 ;
v. 36 |
Materias: |
Descripción Física: | 703 p. : il., tablas ; 24 cm. |
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Bibliografía: | Incluye referencias bibliográficas e índice. |