Photon, beam and plasma assisted processing : proceedings of symposium B on photon, beam and plasma assisted processing fundamentals and device technology of the 1988 E-MRS Spring Conference, Strasbourg, France, 31 may - 2 june 1988 /

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Detalles Bibliográficos
Autor principal: Symposium B on Photon, Beam and Plasma Assisted Processing Fundamental and Device Techology (1988 : Strasbourg, France)
Autor Corporativo: Symposium B on Photon, Beam and Plasma Assisted Processing Fundamental and Device Techology
Otros Autores: Boyd, I.W., Krimmel, E.F.
Formato: Sin ejemplares
Lenguaje:
Publicado: Amsterdam : North Holland, 1989.
Colección:Applied Surface Science 1989 ; v. 36
Materias:
Descripción
Descripción Física:703 p. : il., tablas ; 24 cm.
Bibliografía:Incluye referencias bibliográficas e índice.