Proceedings of the 1973 Conference on Thin Film Phenomena, 15-16 March 1973, IBM Research Laboratory, San Jose, Calif. /
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| Autor Corporativo: | |
| Otros Autores: | , , |
| Formato: | Sin ejemplares |
| Lenguaje: | Inglés |
| Publicado: |
New York :
American Institute of Physics,
1973.
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| Colección: | Journal of vacuum science and technology ;
v. 10, no. 5 (1973). |
| Materias: |
| Notas: | Sponsored by the American Physical Society, American Vacuum Society, Thin Film Division (AVS), and International Business Machines Corporation. Incluye índice. |
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| Descripción Física: | 593-756 p. : il. ; 30 cm. |
| Bibliografía: | Incluye referencias bibliográficas. |
| ISBN: | 0883182068 |
