Handbook of sputter deposition technology : principles, technology, and applications /
Guardado en:
| Autor principal: | |
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| Otros Autores: | |
| Formato: | Libro |
| Lenguaje: | |
| Publicado: |
Park Ridge, N.J., U.S.A. :
Noyes Publications,
c1992.
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| Colección: | Materials science and process technology series
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | Reseña |
| Descripción Física: | xii, 304 p. : il. ; 24 cm. |
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| Bibliografía: | Incluye referencias bibliográficas e índice. |
| ISBN: | 0815512805 |
