Proceedings of the 10th symposium on plasma science for materials : Tokyo, Japan, June 11-12, 1997 /
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Otros Autores: | |
Formato: | Sin ejemplares |
Lenguaje: | |
Publicado: |
Amsterdam :
Elsevier,
1998.
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Colección: | Thin Solid Films,
v. 316, nos. 1-2 |
Materias: |
Descripción Física: | vii, 199 p. |
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Bibliografía: | Incluye referencias bibliográficas e índices. |
ISSN: | 0040-6090 ; |