Papers presented at the materials research society meeting : Symposium K : Multilevel metal process integration, San Francisco CA. USA, April 1-2, 1997 /

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Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Materials research society meeting (1997 : San Francisco CA. USA)
Autor Corporativo:	Materials research society meeting
Otros Autores:	Dixit, G., ed., Fiordalice, R., ed., Mosely, R., ed.
Formato:	Sin ejemplares
Lenguaje:
Publicado:	Amsterdam : Elsevier, 1998.
Colección:	Thin Solid Films, v. 320, no. 1
Materias:	Metals Metales Congresos. Congresses.

Descripción
Descripción Física:	xiii, 884 p.
Bibliografía:	Incluye referencias bibliográficas e índices.
ISSN:	0040-6090 ;

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