Sistema de fabricación de nano-estructuras basado en MEMS /
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| Autor principal: | |
|---|---|
| Otros Autores: | , |
| Formato: | Libro |
| Lenguaje: | Español |
| Publicado: |
2017.
|
| Materias: | |
| Acceso en línea: | Indice. Texto completo |
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| 245 | 1 | 0 | |a Sistema de fabricación de nano-estructuras basado en MEMS / |c Pablo Guillermo del Corro. |
| 260 | # | # | |c 2017. |
| 300 | # | # | |a ix, 97 p. : |b il., figuras ; |c 30 cm. |
| 502 | # | # | |a Tesis (doctorado, Ciencias de la Ingeniería)--Universidad Nacional de Cuyo. Instituto Balseiro, 2017. |
| 504 | # | # | |a Incluye referencias bibliográficas (p. 91-96). |
| 500 | # | # | |a Director de tesis: Hernán Pastoriza. |
| 100 | 1 | # | |a Corro, Pablo Guillermo del. |4 dis |
| 700 | 1 | # | |a Pastoriza, Hernán. |4 ths |
| 710 | 2 | # | |a Universidad Nacional de Cuyo. |b Instituto Balseiro |4 dgg. |
| 653 | # | # | |a Micro-electromechanical systems |
| 653 | # | # | |a Comb drives |
| 653 | # | # | |a Nano-fabrication |
| 653 | # | # | |a Capacitive sensing |
| 653 | # | # | |a Dynamics stencil |
| 653 | # | # | |a Thermal evaporation |
| 653 | # | # | |a Sistemas micro-electromecanicos |
| 653 | # | # | |a Nano-fabricación |
| 653 | # | # | |a Sensado capacitivo |
| 653 | # | # | |a Esténcil dinámico |
| 653 | # | # | |a Evaporación térmica |
| 040 | # | # | |a arbccab |b spa |
| 856 | 4 | 1 | |3 Indice. |u http://campi.cab.cnea.gov.ar/tocs/24028.pdf |
| 856 | 4 | 1 | |q pdf |s 15Mb |u http://ricabib.cab.cnea.gov.ar/862/ |3 Texto completo |
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| 952 | # | # | |2 udc |a ARBCCAB |b ARBCCAB |i 24028 |o T. (043)620 2017 C817 |p 24028 |t 1 |y TS |
