Ion implantation, sputtering and their applications /
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Formato: | Libro |
Lenguaje: | |
Publicado: |
London :
Academic Press,
1976.
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Materias: |
Descripción Física: | ix, 333 p. : il. ; 24 cm. |
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Bibliografía: | Incluye referencias bibliográficas e índices. |
ISBN: | 0126969507 |