Ion implantation, sputtering and their applications /

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Detalles Bibliográficos
Autor principal: Townsend, P. D.
Otros Autores: Kelly, J. C., Hartley, N. E. W.
Formato: Libro
Lenguaje:
Publicado: London : Academic Press, 1976.
Materias:
Descripción
Descripción Física:ix, 333 p. : il. ; 24 cm.
Bibliografía:Incluye referencias bibliográficas e índices.
ISBN:0126969507