Ion implantation, sputtering and their applications /

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Detalles Bibliográficos
Autor principal: Townsend, P. D.
Otros Autores: Kelly, J. C., Hartley, N. E. W.
Formato: Libro
Lenguaje:Inglés
Publicado: London : Academic Press, 1976.
Materias:
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245 1 0 |a Ion implantation, sputtering and their applications /  |c by P. D. Townsend, J. C. Kelly, N. E. W. Hartley. 
260 # # |a London :  |b Academic Press,  |c 1976. 
300 # # |a ix, 333 p. :  |b il. ;  |c 24 cm. 
504 # # |a Incluye referencias bibliográficas e índices. 
020 # # |a 0126969507 
100 1 # |a Townsend, P. D.  |q (Peter David) 
700 1 # |a Kelly, J. C.  |q (John Clive). 
700 1 # |a Hartley, N. E. W. 
080 # # |a 539.186 
650 # 0 |a Ion implantation. 
650 # 0 |a Sputtering (Physics) 
650 # 7 |a Implantacion de iones.  |2 inist 
650 # 7 |a Chisporroteo.  |2 inist 
040 # # |a DLC  |c DLC  |d DLC  |d ICU  |b spa  |d arbccab 
942 # # |c BK 
952 # # |2 udc  |a ARBCCAB  |b ARBCCAB  |i 4767  |o 539.186 T665  |p 4767  |t 1  |y BK