Ion implantation technology : proceedings of the Sixth International Conference on Ion Implantation Technology, University of California, Berkeley, CA, USA, July 28-August 1, 1986 /

Ion implantation technology : proceedings of the Sixth International Conference on Ion Implantation Technology, University of California, Berkeley, CA, USA, July 28-August 1, 1986 /

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Detalles Bibliográficos
Autor principal: International Conference on Ion Implantation Technology (6th : 1986 : University of California, Berkeley)
Autor Corporativo: International Conference on Ion Implantation Technology
Otros Autores: Current, Michael I.
Formato: Sin ejemplares
Lenguaje:
Publicado: Amsterdam : North-Holland, 1987.
Colección:Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms, v. B21, nos. 2-4 (Mar. 1987)
Materias:
Ion implantation > Congresses.
Descripción
Notas:Incluye indices.
Descripción Física:xiv p., p. 83-653 : il. ; 27 cm.
Bibliografía:Incluye referencias bibliográficas.
ISSN:0168-583X ;

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