Ion implantation in semiconductors and other materials ; [proceedings] /

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Detalles Bibliográficos
Autor principal: International Conference on Ion Implantation in Semiconductors and Other Materials, 1972. Yorktown Heights, N.Y.
Autor Corporativo: International Conference on Ion Implantation in Semiconductors and Other Materials, 3d
Otros Autores: Crowder, Billy L., ed.
Formato: Libro
Lenguaje:
Publicado: New York : Plenum Press, [1973]
Colección:The IBM research symposia series
Materias:
Descripción
Notas:2 ejs.
Descripción Física:xii, 657 p. : il. ; 26 cm.
Bibliografía:Incluye referencias bibliográficas.
ISBN:0306307561