Ion implantation in semiconductors and other materials ; [proceedings] /
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Formato: | Libro |
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Publicado: |
New York :
Plenum Press,
[1973]
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Colección: | The IBM research symposia series
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Materias: |
Notas: | 2 ejs. |
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Descripción Física: | xii, 657 p. : il. ; 26 cm. |
Bibliografía: | Incluye referencias bibliográficas. |
ISBN: | 0306307561 |