Ion implantation in semiconductors and other materials ; [proceedings] /

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Detalles Bibliográficos
Autor principal: International Conference on Ion Implantation in Semiconductors and Other Materials, 1972. Yorktown Heights, N.Y.
Autor Corporativo: International Conference on Ion Implantation in Semiconductors and Other Materials, 3d
Otros Autores: Crowder, Billy L., ed.
Formato: Libro
Lenguaje:
Publicado: New York : Plenum Press, [1973]
Colección:The IBM research symposia series
Materias:
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245 1 0 |a Ion implantation in semiconductors and other materials ;  |b [proceedings] /  |c Edited by Billy L. Crowder. 
260 # # |a New York :  |b Plenum Press,  |c [1973] 
300 # # |a xii, 657 p. :  |b il. ;  |c 26 cm. 
504 # # |a Incluye referencias bibliográficas. 
020 # # |a 0306307561 
111 2 # |a International Conference on Ion Implantation in Semiconductors and Other Materials,  |b 3d,  |c Yorktown Heights, N.Y.,  |d 1972. 
700 1 # |a Crowder, Billy L.,  |e ed. 
650 # 0 |a Ion implantation  |v Congresses. 
650 # 0 |a Semiconductors  |v Congresses. 
490 1 # |a The IBM research symposia series 
040 # # |a DLC  |c DLC  |d DLC  |b spa  |d arbccab 
500 # # |a 2 ejs. 
082 0 0 |a 537.6/22 
942 # # |c BK 
952 # # |2 udc  |a ARBCCAB  |b ARBCCAB  |i 4448  |o 621.382:061.3 I8 1972  |p 4448  |t 1  |y BK 
952 # # |2 udc  |a ARBCCAB  |b ARBCCAB  |i 4449  |o 621.382:061.3 I8 1972 Ej.2  |p 4449  |t 2  |y BK