Mechanical properties of MEMS structures.

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Detalles Bibliográficos
Formato: Sin ejemplares
Lenguaje:
Publicado: Norwell, MA : Kluwer, 2003.
Colección:Journal of materials science, v. 38, no. 20 (2003)
Materias:
Descripción
Notas:"The papers were presented in the Materials Sessions at the ASME Symposium on the Mechanical Properties of the MEMS Structures, which was held in New York, NY, in november of 2001".
Descripción Física:v, 4073-4235 p.
Bibliografía:Incluye referencias bibliográficas.
ISSN:0022-2461 ;