Mechanical properties of MEMS structures.

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Detalles Bibliográficos
Formato: Sin ejemplares
Lenguaje:
Publicado: Norwell, MA : Kluwer, 2003.
Colección:Journal of materials science, v. 38, no. 20 (2003)
Materias:
LEADER 00810nam#a22001935a#4500
008 070212s2003####mau####f######100#0#eng#d
005 20080104153049.0
001 BCCAB013556
003 AR-BCCAB
245 1 0 |a Mechanical properties of MEMS structures. 
260 # # |a Norwell, MA :  |b Kluwer,  |c 2003. 
300 # # |a v, 4073-4235 p. 
504 # # |a Incluye referencias bibliográficas. 
650 # 7 |a Materials  |2 inist 
490 1 # |a Journal of materials science,  |v v. 38, no. 20 (2003)  |x 0022-2461 ; 
040 # # |a arbccab  |b spa 
500 # # |a "The papers were presented in the Materials Sessions at the ASME Symposium on the Mechanical Properties of the MEMS Structures, which was held in New York, NY, in november of 2001". 
942 # # |c BK 
952 # # |2 udc  |7 NOT_LOAN  |a ARBCCAB  |b ARBCCAB  |i 013556_nuevo-0  |o J. MATER. SCI. 2003  |p 013556_nuevo-0  |t 1  |y BK