Proceedings of the 1983 international symposium on electron, ion and photon beams.
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| Autor principal: | |
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| Autor Corporativo: | |
| Otros Autores: | , |
| Formato: | Sin ejemplares |
| Lenguaje: | Inglés |
| Publicado: |
New York :
American Institute of Physics,
1983.
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| Colección: | Journal of Vacuum Science & Technology B. Second series ;
v. 1, no. 4 |
| Materias: |
| Notas: | Título de tapa. Special editor for the proceedings: M. Hatzakis and T. H. P. Chang. |
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| Descripción Física: | xix, 865-1450 p. |
| Bibliografía: | Incluye referencias bibliográficas e índice. |
