MEMS and MOEMS technology and applications /

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Detalles Bibliográficos
Otros Autores: Rai-Choudhury, P.
Formato: Libro
Lenguaje:
Publicado: Bellingham, Wash. : SPIE Optical Engineering Press, c2000.
Materias:
Acceso en línea:Indice
Descripción
Notas:Incluye índice.
Descripción Física:xi, 520 p. : il. ; 27 cm.
Bibliografía:Incluye referencias bibliográficas.
ISBN:0819437166