MEMS and MOEMS technology and applications /
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Formato: | Libro |
Lenguaje: | |
Publicado: |
Bellingham, Wash. :
SPIE Optical Engineering Press,
c2000.
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Materias: | |
Acceso en línea: | Indice |
Notas: | Incluye índice. |
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Descripción Física: | xi, 520 p. : il. ; 27 cm. |
Bibliografía: | Incluye referencias bibliográficas. |
ISBN: | 0819437166 |