Introduction to microelectromechanical systems engineering /

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Detalles Bibliográficos
Autor principal: Maluf, Nadim.
Otros Autores: Williams, Kirt.
Formato: Libro
Lenguaje:
Publicado: Boston : Artech House, 2004.
Edición:2nd ed.
Colección:Microelectromechanical systems series
Materias:
Descripción
Descripción Física:xx, 283 p. : il. ; 26 cm.
Bibliografía:Incluye referencias bibliográficas e índice.
ISBN:1580535909 (alk. paper)