Proceedings of the Thirteenth Annual Symposium of the Greater New York Chapter of the AVS on plasma and ion-beam processing, 2 June 1982, IBM Thomas J. Watson Research Center, Yorktown Heights, New York /
Guardado en:
| Otros Autores: | , |
|---|---|
| Formato: | Sin ejemplares |
| Lenguaje: | Inglés |
| Publicado: |
New York :
American Institute of Physics,
1982.
|
| Colección: | Journal of vacuum science and technology ;
v. 21, no. 3 |
| Materias: |
| Notas: | Incluye índice. |
|---|---|
| Descripción Física: | p. 725-815 : il. ; 29 cm. |
| Bibliografía: | Incluye referencias bibliográficas. |
| ISBN: | 0883184052 |
