Proceedings of the Tenth Annual Conference on the Physics and Chemistry of Semiconductor Interfaces, 25-27 January 1983, Sweeney Convention Center, Santa Fe, New Mexico /

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Detalles Bibliográficos
Autor principal: Conference on the Physics and Chemistry of Semiconductor Interfaces (10th : 1983 : Santa Fe, NM)
Autor Corporativo: Conference on the Physics and Chemistry of Semiconductor Interfaces
Otros Autores: Bauer, Robert S., American Physical Society., American Vacuum Society.
Formato: Sin ejemplares
Lenguaje:Inglés
Publicado: New York : American Institute of Physics, 1983.
Colección:Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena, v. 1, no. 3
Materias:
Descripción
Notas:Incluye índice.
Descripción Física:p. 519-859 : il. ; 30 cm.
Bibliografía:Incluye referencias bibliográficas.
ISSN:0734-211X ;