Defect recognition in semiconductors before and after processing : proceedings of the fourth International Conference, Wilmslow, UK, 18-22 March, 1991 /
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| Autor principal: | |
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| Autor Corporativo: | |
| Otros Autores: | , |
| Formato: | Sin ejemplares |
| Lenguaje: | Inglés |
| Publicado: |
Bristol, England ; Philadelphia :
Adam Hilger,
c1992.
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| Colección: | Semiconductor Science Technology 1992 ;
v. 7, no. 1A |
| Materias: |
| Descripción Física: | 310 p. : il. (algunbas col.) ; 31 cm. |
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| Bibliografía: | Incluye referencias bibliográficas. |
