Beam injection assessment of defects in semiconductors : [edited by] J. Piqueras, P. Fernández and B. Méndez.

Beam injection assessment of defects in semiconductors : [edited by] J. Piqueras, P. Fernández and B. Méndez.

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Detalles Bibliográficos
Autor principal: International Workshop on Beam Inection Assessment of Defects in Semiconductors (4th : 1996 : El Escorial, Spain)
Autor Corporativo: International Workshop on Beam Inection Assessment of Defects in Semiconductors
Otros Autores: Piqueras, J., ed., P. Fernández, ed., Méndez, B., ed.
Formato: Sin ejemplares
Lenguaje:
Publicado: Amsterdam : Elsevier, 1996.
Colección:Materials Science and Engineering 1996 ; B 42, nos. 1-3
Descripción
Notas:"Containing papers presented at the 4th International Workshop on Beam Inection Assessment of Defects in Semiconductors (BIADS 96), 3-6 june 1996, El Escorial, Spain".
Descripción Física:x, 316 p. il. ; 27 cm.
Bibliografía:Incluye referencias bibliográficas.
ISSN:0921-5107

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