Ion implantation technology : proceedings of the Seventh International Conference on Ion Implantation Technology, Kyoto, Japan, June 7-10, 1988 /

Ion implantation technology : proceedings of the Seventh International Conference on Ion Implantation Technology, Kyoto, Japan, June 7-10, 1988 /

Guardado en:
Detalles Bibliográficos
Autor principal: International Conference on Ion Implantation Technology (7th : 1988 : Kyoto, Japan)
Autor Corporativo: International Conference on Ion Implantation Technology
Otros Autores: Takagi, Toshinori.
Formato: Sin ejemplares
Lenguaje:
Publicado: Amsterdam : North-Holland, 1989.
Colección:Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms, v. B37/38 (Feb. 1989)
Materias:
Ion implantation > Congresses.
Descripción
Notas:Incluye índice.
Descripción Física:xxiv, 994 p. : il. ; 27 cm.
Bibliografía:Incluye referencias bibliográficas.
ISSN:0168-583X ;

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