Glow discharge processes : sputtering and plasma etching /
Guardado en:
| Autor principal: | |
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| Formato: | Libro |
| Lenguaje: | |
| Publicado: |
New York :
Wiley,
1980.
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | Reseña |
| Notas: | "A Wiley-Interscience publication." Incluye índice. |
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| Descripción Física: | xv, 406 p. : il. ; 24 cm. |
| Bibliografía: | Bibliografía: p. 397-400. |
| ISBN: | 047107828X |
