Proceedings of the workshop on refractroy metals ans silicides for VLSI IV.
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| Autor principal: | |
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| Autor Corporativo: | |
| Otros Autores: | |
| Formato: | Sin ejemplares |
| Lenguaje: | Inglés |
| Publicado: |
New York :
American Institute of Physics,
1986.
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| Colección: | Journal of Vacuum Science & Technology B. Second series ;
v. 4, no. 6 |
| Materias: |
| Notas: | Título de tapa. |
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| Descripción Física: | xv, 1273-1578 p. |
| Bibliografía: | Incluye referencias bibliográficas e índice. |
