$Proceedings of the workshop on refractory metal silicides for VLSI II.$

Proceedings of the workshop on refractory metal silicides for VLSI II.

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Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Workshop on refractory metal silicides for VLSI (2nd : 1984 : St. Francis Retreat Center, San Juan Bautista, California)
Autor Corporativo:	Workshop on refractory metal silicides for VLSI
Otros Autores:	Strathman, Michael D., ed., Moustakas, T. D., ed., Witzke, H., ed., Annual symposium of the New York Chapter of the AVS on coatings for large-scale metallurgical, optical and electronic applications
Formato:	Sin ejemplares
Lenguaje:
Publicado:	New York : American Institute of Physics, 1985.
Colección:	Journal of Vacuum Science & Technology B. Second series ; v. 2, no. 4
Materias:	Congresses. Congresos. Refractories Refractarios

Descripción
Notas:	Título de tapa. Special editor for the proceedings: Michael D. Strathman.
Descripción Física:	x, 1318-1580 p.
Bibliografía:	Incluye referencias bibliográficas e índice.