$Proceedings of the workshop on refractroy metals ans silicides for VLSI IV.$

Proceedings of the workshop on refractroy metals ans silicides for VLSI IV.

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Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Workshop on refractroy metals ans silicides for VLSI (4th : 1986 : St. Francis Retreat Center, San Juan Bautista, California)
Autor Corporativo:	Workshop on refractroy metals ans silicides for VLSI
Otros Autores:	Annual symposium of the greater New York chapter of the AVS on strained layer superlattices
Formato:	Sin ejemplares
Lenguaje:	Inglés
Publicado:	New York : American Institute of Physics, 1986.
Colección:	Journal of Vacuum Science & Technology B. Second series ; v. 4, no. 6
Materias:	Congresses. Congresos. Refractarios Refractories

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