Selected papers revised from the proceedings of the fourth International Symposium on Sputtering and Plasma Processes, (ISSP '97) : Kanazawa, Japan, 4-6 June 1997 /
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| Autor principal: | |
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| Autor Corporativo: | |
| Formato: | Sin ejemplares |
| Lenguaje: | Inglés |
| Colección: | Vacuum,
v. 51, no. 4 |
| Descripción Física: | p. 475-795 : il. ; 28 cm. |
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| ISSN: | 0042-207X ; |
