Proceedings of the workshop on refractory metls and silicides for VLSI III.
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| Formato: | Sin ejemplares |
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| Publicado: |
New York :
American Institute of Physics,
1986.
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| Colección: | Journal of Vacuum Science & Technology B. Second series ;
v. 3, no. 6 |
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| Notas: | Título de tapa. Special editor for the proceedings: Michael D. Strathman. |
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| Descripción Física: | xxiv, 1581-1800. |
| Bibliografía: | Incluye referencias bibliográficas e índice. |
