Proceedings of the workshop on refractory metls and silicides for VLSI III.

Proceedings of the workshop on refractory metls and silicides for VLSI III.

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Detalles Bibliográficos
Autor principal: Workshop on refractory metls and silicides for VLSI (3rd : 1985 : St. Francis Retreat Center, San Juan Bautista, California)
Autor Corporativo: Workshop on refractory metls and silicides for VLSI
Otros Autores: Strathman, Michael D., ed.
Formato: Sin ejemplares
Lenguaje:
Publicado: New York : American Institute of Physics, 1986.
Colección:Journal of Vacuum Science & Technology B. Second series ; v. 3, no. 6
Materias:
Congresses.
Congresos.
Refractory metals
Metales refractarios
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300 # # |a xxiv, 1581-1800. 
504 # # |a Incluye referencias bibliográficas e índice. 
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500 # # |a Special editor for the proceedings: Michael D. Strathman. 
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